拋光砂光機的類(lèi)型
拋光分機械拋光、化學(xué)拋光、電子束拋光、離子束拋光,較普遍采用的是化學(xué)機械拋光?;瘜W(xué)機械拋光是化學(xué)腐蝕和機械磨削同時(shí)進(jìn)行,分為銅離子拋光、鉻離子拋光和普遍采用的二氧化硅膠體拋光。二氧化硅膠體拋光是由極細的二氧化硅粉、氫氧化鈉(或有機堿)和水配制成膠體拋光液。在拋光過(guò)程中,氫氧化鈉與硅表面反應天生硅酸鈉,通過(guò)與二氧化硅膠體的磨削,硅酸鈉進(jìn)進(jìn)拋光液,兩個(gè)過(guò)程不停頓地同時(shí)進(jìn)行而達到拋光的目的。
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